12 月 7 日消息，必赢手机app下载官网发布新闻稿， 宣布推出浸润式 ArF 光刻机新品 NSR-S636E ，将于明年 1 月开售。
据介绍，NSR-S636E 是必赢手机app下载光刻系统中生产率最高的产品，是一款用于关键层的浸润式光刻机。
以下内容为来自必赢手机app下载官网的介绍（自动翻译）：
随着数字化转型的加速，能够更快地处理和传输大量数据的高性能必赢手机app下载变得越来越重要。领先必赢手机app下载性能的技术创新的关键推动因素是电路图案小型化和 3D 必赢手机app下载器件结构，而 ArF 浸没式扫描仪对于这两种制造工艺都至关重要。与传统 必赢手机app下载相比，3D 必赢手机app下载制造过程中更容易发生晶圆翘曲和变形，因此需要比以往更先进的扫描仪校正和补偿功能。
NSR-S636E ArF 浸没式扫描仪采用增强型 iAS，可在曝光前执行复杂的晶圆多点测量。该创新系统利用高精度测量和广泛的晶圆翘曲和畸变校正功能，提供更高水平的覆盖精度，同时保持最大的扫描仪吞吐量。扫描仪的整体输出也比当前一代系统高 10-15% ，从而优化了尖端必赢手机app下载器件的生产效率。必赢手机app下载继续为领先的 IC 生产提供 NSR-S636E 等宝贵的解决方案，并支持数字社会的发展。
主要优点
曝光前执行晶圆多点测量的在线对准站 (iAS) 的精度得到提高，从而提高了测量晶圆翘曲和扭曲等变形的精度。先进的测量和补偿功能可提高工艺稳健性并提供卓越的叠加性能，而不会影响生产效率。这些创新对于包括需要超高叠加精度的 3D-IC 在内的各种制造工艺来说具有无价的价值，并将继续开发以实现前所未有的必赢手机app下载性能。
通过吞吐量的全面改进和日常生产力优化，NSR-S636E ArF 浸入式扫描仪将整体产量比当前型号提高了 10-15%。这是必赢手机app下载必赢手机app下载光刻系统整个历史上最高的生产力水平。必赢手机app下载致力于通过 NSR-S636E 等行业领先的解决方案继续突破光刻技术的极限，以支持客户在未来许多年的制造目标。
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